Macchina di deposizione di metalli ad alto vuoto, apparecchiatura di visualizzazione delle impronte digitali

Vantaggi di progettazione

1. Progettazione portatile con impronta compatta
2. Sistema di raffreddamento gratuito ad acqua, l'ambiente di lavoro richiesto è solo di potenza elettrica: 1Ph, 220V 50Hz, 60A;
3. L'interfaccia di visione ampia per ispezionare il processo di evaporazione, con finestra di quarzo fino a 400 mm;
4. Potente sistema di pompaggio a vuoto per il processo di rivestimento a ciclo veloce: pompa molecolare ad alto turbo, disponibile per l'assemblaggio in qualsiasi direzione; dotata di una pompa a vele rotative a due fasi di grande volume.
   5Bassi costi di gestione e bassi costi di manutenzione.
   6- Funzionamento flessibile basato su dispositivo HMI: pagina di elaborazione, pagina di registrazione della curva, pagina di allarme, pagine di manutenzione ecc.
   
   
    

   Specifiche tecniche

   Prestazioni

   1Pressione di vuoto finale: superiore a 9,0*10-5 Pa;
   2Pressione di funzionamento sotto vuoto: 6,0*10-3 Pa ~ 9,0*10-3 Pa;

   3Pressione di vuoto di base: 3,0*10-4 Pa

5. Tempo di pompaggio: da 1 atm a 9,0×10-3 Pa≤15 minuti (temperatura ambiente, camera asciutta, pulita e vuota)
6. Fonte di deposizione: evaporazione di filamenti di cartoni di tungsteno
7. Modello di funzionamento: completamente automatico/semi-automatico/manuale
8. Materiali di deposizione: zinco, argento, oro, alluminio ecc.

9. Struttura

   La macchina per il rivestimento a vuoto contiene il sistema completato di cui sotto:

10. Camera a vuoto
    1.1 Dimensione: Larghezza interna: 450 mm, profondità: 450 mm

11. Altezza interna: 500 mm

    1.2 Materiale: camera a vuoto SUS304

    SUS304

    Struttura di rinforzo della camera: SUS304

    Chassis della camera SS41 in acciaio tenero con trattamento di finitura verniciata.

    1.3 Scudo di evaporazione: SUS304

    1.4 Finestra di vista: sulla porta della camera, materiale di quarzo.

    1.5 Valvola di ventilazione della camera a vuoto (compreso il silenziatore)

12. Sistema di pompaggio a vuoto

13. Sistema di pompaggio a vuoto di scarico: pompa a pale rotative a 2 fasi-1 set

    Sistema di pompaggio ad alto vuoto: set di pompe molecolari turbo-1

    3Sistema elettrico di controllo e funzionamento - PLC + touch screen

    Circuito principale: interruttore non fusibile, interruttore elettromagnetico, C/T in serie

14. Potenza di evaporazione 1 set
15. Sistema di controllo dell'evaporazione

16. 5.1 Sistema di funzionamento: touch screen + PLC, controllo delle ricette e registrazione dei dati, spegnimento automatico, evacuazione automatica, rivestimento automatico

17. Sistema di misura

18. 6.1 Pressione di vuoto: misuratore di vuoto: Pirani + misuratore di Penning + misuratore di vuoto a gamma completa

    7.Sistema di allarme: pressione dell'aria compressa, flusso di acqua di raffreddamento, malfunzionamento;

    Indicatore del carico di potenza: Indicatore di tensione e indicatore di corrente di carico

19. Sistema di deposizione

20. 8.1 Fonte di deposizione: cartone di tungsteno

    8.2 Materiale di deposizione: zinco, alluminio, argento, oro

21. Ambiente di lavoro

22. 9.1 monofase, 220V 50Hz ((60Hz), 5KW

    9.2 Area di installazione: (L*W*H) 2000*1000*2300mm

    9.3 Scarico: ventilazione per pompe meccaniche

    Disegno -Macchina di evaporazione termica portatile

     

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