Sistema di deposizione da sputtering magnetronico

  Le fotoniche farfugliano il sistema del deposito per il film idrofobo della composizione ed altri film funzionali

Applicazioni:

La macchina RTSP1213 è un sistema di modello farfugliare in lotti, rivestimenti duri dei giacimenti della latta i vari, i rivestimenti molli, i film composti ed i film di lubrificazione solidi sui substrati metallici e non metallici dei materiali. Applicato alle industrie dei veicoli di Fuel Cell dell'idrogeno, dei prodotti di fotonica, dello spazio aereo e di altre nuove industrie energetiche.

Proprietà:

per migliorare la conducibilità di superficie;

 Alta resistenza della corrosione;

 Alta resistenza all'usura;

 Alta durezza

 Film idrofobo della composizione ed altri film funzionali

Disponibile per i rivestimenti composti: film metallici e non metallici.

Gamma da 100nm a 12μm, tolleranza ±5% di spessore di film di spessore
 Forte adesione.

 Le parti di tempera basse sorgono indurendo il trattamento.

Tipo:

Orientamento verticale, struttura del poliedro, 2 porte (parte anteriore e parte posteriore)

Caratteristiche:

• Sistema rispettoso dell'ambiente, nessun acque reflue industriali, aria e inquinamento acustico;
• Operazione facile: Controllo dello SpA + del touch screen e programma unico per un'operazione di tocco, allarme di analisi guasti più di di 80%.
• Una connessione d'elaborazione e un backup di fino a 10 ricette; alte ripetibilità e diversità.
• Progettazione speciale del sistema del carosello per alta uniformità di deposito del film.
• Alte produttività e alta qualità
• Sistema stabile ed affidabile, eseguente 365 giorni * 24hrs (manutenzione e riparazione che rompono tempo)
• Sistema di pompaggio di efficienza: linee stridenti di più breve vuoto per velocità stridente massima con le pompe ben note di marca di Europa
• La progettazione compatta occupa lo spazio minimo dell'installazione.

Caratteristiche tecniche

• Prestazione

1. Ultima pressione di vuoto: migliori che il PA 8.0*10-5;

• Basi la pressione di vuoto: PA 3.0*10-4

3. Tempo di attesa di pompaggio: dal bancomat al resoconto di 1.0×10-3 Pa≤15 (temperatura ambiente, asciutta, pulisce e svuota la camera)

4. Fonte di deposito: equilibrato/ha squilibrato farfugliare i catodi

5. Modello di funzionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ pieno manualmente

6. Riscaldamento: dalla temperatura ambiente fino al massimo 450℃,

7. Pulizia del plasma e deposito di aiuto del plasma: Fonte di ione lineare dell'anodo

8. Circuito chiuso magnetico archivato. (Catodi equilibrio/di squilibrio)

9. Alimentazione elettrica diagonale per lo scarico di incandescenza.

• Struttura

La macchina di rivestimento di vuoto contiene il sistema di chiave completato elencato qui sotto:

1. Camera di vuoto
1,1 dimensione: Diametro interno 1200mm

Altezza interna: 1300mm

1,2 materiale: Camera di vuoto SUS304

Porta e flange SUS304

La camera rinforza la struttura: Acciaio dolce SS41, con il trattamento di superficie di finitura dipinto.

Acciaio dolce del telaio SS41 della camera con il trattamento di superficie di finitura dipinto.

1,3 farfugliare schermo: SUS304

1,4 finestra di vista: sulla porta della camera - 4 insiemi (2 su ogni porta)

1,5 valvola di scarico della camera di vuoto (silenziatore compreso)

1,6 porta: Materiale SUS304

2. Sistema di pompaggio di vuoto di sgrossatura:

Pompa rotatoria del pulsometro della pala dell'olio +Roots + pompa della tenuta (Leybold)

3. Sistema di pompaggio di alto vuoto:

Pompa molecolare della sospensione magnetica (Leybold)

• Valvole a saracinesca - 2 insiemi

4. Touch screen elettrico del sistema PLC+ di esercizio e di controllo

4,1 circuito della conduttura: commutatore dell'interruttore del Nessuno-fusibile, commutatore elettromagnetico, tipo di C/T in serie

4,2 farfugliando alimentazione elettrica di fonte dell'alimentazione elettrica + di ione + alimentazione elettrica diagonale (energia avanzata)

4,3 farfugliare il sistema di controllo di deposito

4,4 sistema di esercizio: Touch screen + SpA, controllo di ricetta e registrazione di dati, arresto automatico, evacuazione automatica, rivestimento automatico

4,5 sistema di misurazione

Pressione di vuoto: Vacuometro: Pirani + rinchiudendo calibro + vacuometro della gamma completa -- Marca di Europa

Strumento di misura di temperatura: Termocoppia
MFC: Regolatore di portata in peso (4 modi), modo del visualizzatore digitale-- Marca di Europa

4,6 sistema di allarme: Pressione appiattita dell'aria, scorrimento dell'acqua di raffreddamento, Mis-operazione

4,7 indicatore del carico di potere: Indicatore di tensione ed indicatore della corrente del carico

5. sistema di deposito

5,1 fonte di deposito: Farfugliare i catodi, fonte di ione -- Marca di Europa

5,2 materiale di deposito: Obiettivo del carbonio

6. Sottosistema

6,1 sistema di controllo appiattito della valvola dell'aria

6,2 sistema a acqua di raffreddamento: Sistema della valvola del tubo e del commutatore di scorrimento dell'acqua

ambiente 7.Working

Aria appiattita: 5~8kg/cm2

Acqua di raffreddamento: Acqua Nella temperatura: 20~25℃, 200 litri/min,
Acqua Nella pressione: 2~3 kg/cm2,

Potere: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, consumo di energia medio: 40KW

Area dell'installazione: (L*W*H) 3000*4000*3200mm

Scarico: Sfiato per le pompe meccaniche

Perché noi?

1. I machineries avanzati di produzione (fresatura, saldatura, taglio, prova di tenuta di vuoto) combinati con il processo di fabbricazione standardizzato e le prove rigorose permettono alla tecnologia reale di produrre i sistemi di rivestimento di alta qualità, di basso costo affidabile e.

2. La consegna di qualità, di servizio e di tempo d'inserimento è i principi del centro di affare della tecnologia reale. Una strategia apertamente di delocalizzazione delle componenti semplici al professionista fabbrica permette che noi concentriamo l'attenzione alle parti fondamentali ed alle componenti R & S, fabbricanti.

3. Le politiche rigorose di controllo di qualità e la selezione rigorosa dei fornitori qualificati assicurano i clienti della tecnologia reale ricevono il costo accessibile dell'attrezzatura di qualità più avanzato e più di qualità superiore al massimo.

Contattici prego per più specifiche, la tecnologia reale è onorato per fornirgli le soluzioni totali del rivestimento.

Per scaricare l'opuscolo completato, clicchi prego qui:  Macchina di rivestimento di vuoto di R & S - depositio di PVD + di PECVD…