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| Marchio: | ROYAL |
| Numero di modello: | Multi950 |
| MOQ: | 1 set |
| prezzo: | depends on |
| Condizioni di pagamento: | L/C,T/T |
| Capacità di approvvigionamento: | 10 set al mese |
Tl'integrazione delle tecnologie PVD e PECVD in una macchina di rivestimento ibrida offre una serie di vantaggi che possono portare a una migliore qualità del rivestimento, versatilità, controllo, efficienza, risparmio di costi,personalizzazione, e sostenibilità ambientale.
Il Multi950 è la pietra miliare dei sistemi di rivestimento di progettazione avanzata per la Royal Tech.La sua creatività e dedizione sono valori illimitati e hanno ispirato la nostra squadra..
Nell'anno 2018, abbiamo avuto un altro progetto di cooperazione con Pressor Chen, la deposizione di materiale C-60 da
Ringraziamo il signor Yimou Yang e il professor Chen per la guida e le istruzioni di ogni progetto innovativo.
Proprietà della macchina Multi950:
Impronta compatta,
Progettazione modulare standard,
Flessibile,
Affidabile,
Camera ottale,
struttura a due porte per un facile accesso,
Processi PVD + PECVD.
Caratteristiche del progetto:
1Flessibilità: catodi ad arco e sputtering, flange di montaggio delle sorgenti ioniche sono standardizzate per uno scambio flessibile;
2- versatilità: può depositare una varietà di metalli comuni e leghe; rivestimenti ottici, rivestimenti duri, rivestimenti molli,film composti e film lubrificanti solidi sui substrati di materiali metallici e non metallici.
3Progettazione rettilinea: struttura a due porte, apertura anteriore e posteriore per una facile manutenzione.
La macchina Multi950 è un sistema di deposizione a vuoto multifunzione personalizzato per la ricerca e lo sviluppo.Abbiamo finalmente confermato la progettazione e le configurazioni per soddisfare le loro applicazioni di ricerca e sviluppoQuesto sistema è in grado di depositare film DLC trasparente con processo PECVD, rivestimenti duri sugli strumenti e film ottico con catodo di sputtering.Abbiamo sviluppato altri 3 sistemi di rivestimento dopo.:
1. Rivestimento di piastre bipolari per veicoli elettrici a celle a combustibile- FCEV1213,
2. Ceramica di rame placcato diretto- DPC1215,
3Sistema di Sputtering flessibile RTSP1215.
Questi 4 modelli di macchine sono tutti con camera ottale, prestazioni flessibili e affidabili sono ampiamente utilizzati in varie applicazioni.Per soddisfare i processi di rivestimento sono necessari diversi strati metallici.: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS e molti altri metalli non ferromagnetici;
Il processo PECVD è stato utilizzato per la produzione di filtri di carbonio, con l'unità di fonte ionica, per migliorare efficacemente l'adesione delle pellicole su diversi materiali del substrato con le sue prestazioni di incisione al plasma e per depositare alcuni strati a base di carbonio.
Multi950 - Specifiche tecniche
| Descrizione | Multi-950 |
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Camera di deposizione (mm) Larghezza x profondità x altezza |
1050 x 950 x 1350 |
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Fonti di deposizione |
1 coppia di catodi di sputtering MF |
| 1 coppia di PECVD | |
| 8 serie di catodi ad arco | |
| Sorgente ionica lineare | 1 set |
| Zona di uniformità del plasma (mm) | φ650 x H750 |
| Carrozzolo | 6 x φ300 |
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Potenza (KW) |
Bias: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 x 36 | |
| Arco: 8 x 5 | |
| Fonte ionica: 1 x 5 | |
| Sistema di controllo del gas | MFC: 4 + 1 |
| Sistema di riscaldamento | 500°C, con controllo PID a coppia termica |
| Valvola di apertura ad alto vuoto | 2 |
| Pompa turbomolecolare | 2 x 2000L/S |
| Pompa delle radici | 1 x 300L/S |
| Pompa a ventole rotative | 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h |
| Impressione (L x P x H) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
| Potenza totale (KW) | 150 |
I team di assistenza e ingegneria di Royal Tech forniscono assistenza al cliente in loco, contattateci per le vostre richieste!
