Macchina di placcatura del rame PVD dell'ossido di alluminio, ramatura sugli strati ceramici, sistema di rame di PVD di deposito

                     Macchina di ramatura dell'ossido di alluminio, ramatura di PVD sugli strati ceramici,  

Parole chiavi: Diriga il rame placcato, il DPC, la ramatura ceramica, i rivestimenti duri di PVD, il processo di PECVD, il film di DLC, diamante come il film del carbonio, farfugliante il film ottico, magnetron di Gencoa farfugliante il catodo, la fonte di ione, il PA PVD

Caratteristiche del progetto di RTAC950-SP:

• Flessibilità: archi e farfugli le fonti, dispositivi lineari di fonte di ione le flange di supporto che sono standardizzate per lo scambio flessibile
• Versatilità: disponibile per varietà del deposito di metalli base e di leghe, rivestimenti ottici e rivestimenti duri, rivestimenti molli. Film composti e film di lubrificazione solidi sui substrati metallici e non metallici dei materiali
• Progettazione diretta: struttura di porta 2, parte anteriore ed apertura posteriore per la manutenzione facile

Caratteristiche tecniche

• Prestazione

1. Ultima pressione di vuoto: migliori che il PA 8.0*10-4;

• Basi la pressione di vuoto: PA 3.0*10-2

3. Tempo di attesa di pompaggio: dal bancomat al resoconto di 1.0×10-3 Pa≤15 (temperatura ambiente, asciutta, pulisce e svuota la camera)

4. Fonte di deposito: Magnetron di Gencoa che farfuglia i catodi, catodi diretti dell'arco, fonte di ione

5. Modello di funzionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ pieno manualmente

6. Riscaldamento: dalla temperatura ambiente fino al massimo 500℃,

9. Fonte di ione per il processo di PA e di PECVD PVD.

• Struttura

La macchina di rivestimento di vuoto contiene il sistema di chiave completato elencato qui sotto:

1. Camera di vuoto
1,1 dimensione: Profondità interna 950mm

Altezza interna: 1350mm

1,2 materiale: Camera di vuoto SUS304

Porta e flange SUS304

La camera rinforza la struttura: Acciaio dolce SS41, con il trattamento di superficie di finitura dipinto.

Acciaio dolce del telaio SS41 della camera con il trattamento di superficie di finitura dipinto.

1,3 schermo della camera: SUS304

1,4 finestra di vista: sulle porte della camera -2

1,5 valvola di scarico della camera di vuoto (silenziatore compreso)

1,6 porta: 2 insiemi, parte anteriore e parti posteriori, materiale SUS304

2. Sistema di pompaggio di vuoto di sgrossatura:
Pulsometro rotatorio della pala dell'olio + pompa della tenuta

3. Sistema di pompaggio di alto vuoto:

Pompa molecolare di Turbo - 2 insiemi

4. Sistema elettrico di ScreenOperation di tocco del sistema PLC+ di esercizio e di controllo:

Fornitori:

SpA: Mitsubishi, modello: SERIE FX-IN60MR-001

Componenti elettronici: SCHNEIDER, OMRON.

Sistema proteggente di sicurezza: Numerosi interruttori di sicurezza per proteggere gli operatori ed attrezzature (acqua, gas corrente, temperatura ecc.)

Sistema di processi di rivestimento: Automazione di processi & controllo. Risparmiato automaticamente nella memoria per 3 mesi. Dati ricoprenti descritti di ricette: la corrente dell'operazione dell'obiettivo/tensione, la portata in peso, la pressione di vuoto, la temperatura, periodi ricoprenti è conservata affinchè un'analisi migliori la qualità dei rivestimenti.

4,1 circuito della conduttura: commutatore dell'interruttore del Nessuno-fusibile, commutatore elettromagnetico, tipo di C/T in serie

4,2 alimentazione elettrica: MF che farfuglia potere dell'arco di CC + di potere + alimentazione elettrica diagonale

4,3 sistema di controllo di deposito

4,4 sistema di esercizio: Touch screen + SpA, controllo di ricetta e registrazione di dati, arresto automatico, evacuazione automatica, rivestimento automatico

4,5 sistema di misurazione

Pressione di vuoto: Vacuometro: Pirani + rinchiudendo calibro + vacuometro della gamma completa -- Marca di Europa

Strumento di misura di temperatura: Termocoppia
MFC: Regolatore di portata in peso (4 modi),

4,6 sistema di allarme: Pressione appiattita dell'aria, scorrimento dell'acqua di raffreddamento, Mis-operazione

4,7 indicatore del carico di potere: Indicatore di tensione ed indicatore della corrente del carico

5. sistema di deposito

5,1 fonte di deposito: Farfugliando le fonti dell'arco di cathodes+ + fonte di ione

5,2 materiale di deposito: ITO, titanio, Chrome, alluminio, acciaio inossidabile, TiAl ecc.

6. Sottosistema

6,1 sistema di controllo appiattito della valvola dell'aria

6,2 sistema a acqua di raffreddamento: Sistema della valvola del tubo e del commutatore di scorrimento dell'acqua

7. Luogo di lavoro

Aria appiattita: 5~8kg/cm2

Acqua di raffreddamento: Acqua Nella temperatura: 20~25℃, 200 litri/min,
Acqua Nella pressione: 2~3 kg/cm2,

Potere: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo di energia medio: 60KW

Area dell'installazione: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Scarico: Sfiato per le pompe meccaniche

Applicazioni

Contattici prego per più specifiche, la tecnologia reale è onorato per fornirgli le soluzioni totali del rivestimento.