Oro funzionale dei rivestimenti di PVD che farfuglia il sistema di deposito del film sottile

 D'oroha un colore rosso-giallo brillante nella sua forma più pura. Non si ossida nell'aria a temperatura ambiente,quindi rimane molto stabile in condizioni normali e la sua conduttività elettrica è costanteÈ uno dei metalli preziosi più utilizzati nella finitura.

L'oro è resistente alla corrosione, il che lo rende una buona finitura per i perni dei connettori e per i contatti degli interruttori elettrici.

Il rivestimento in oro è utilizzato in parti e componenti in una vasta gamma di settori principali:

1. Applicazioni mediche: impianti corporei
2. Energia: celle a combustibile a idrogeno Piastre bipolari
3. Semiconduttori: chip microelettronici
4. Aerospaziale e difesa
5. Telecomunicazioni e altri

ROYAL Technology fornisce soluzioni di rivestimento chiavi in mano per i produttori che cercano un team affidabile per una cooperazione a lungo termine.

Progettazione robusta, grandi lotti, cicli veloci, processi di rivestimento flessibili sono i concetti di progettazione di base che il team ROYAL ha perseguito.

Vantaggi di progettazione

1. Risparmio energetico: progettazione compatta e pompe molecolari
2. Alta utilizzazione del bersaglio fino al 40% con catodo di sputtering planare
3. Lo spessore della pellicola auricolare in Au sputter è controllabile
4. Sistema di funzionamento con un solo tocco

PVD Deposito di sputtering d'oro

1. Quando si tratta di vetro, leghe metalliche, ecc. Materiale di substrati, lo strato di legame è essenziale per migliorare l'adesione del substrato e dell'Auffilm.Royal Technology ha sviluppato una gamma di ricette di rivestimento maturate basate su diverse applicazioni, supportare i nostri clienti con consulenza professionale.
2. Per la maggior parte delle applicazioni si prevede una rugosità (RMS √ radice media quadrata) < 40Å. Per alcune applicazioni di sonda di scansione potrebbe essere richiesta una rugosità inferiore, generalmente 1,5 ~ 4 nm.
3. Purezza superficiale dello strato di sputtering dell'oro: è necessaria una superficie pulita per le applicazioni che utilizzano modifiche della superficie dell'oro.Purezza originale della fonte d'oro (superiore a 99%)0,99% in generale)
   
    

   Le specifiche tecniche:

   Modello: RTSP800

   TECNOLOGIA: Sputtering CC + fonte ionica (opzionale)

   MATERIALE: acciaio inossidabile

   Dimensione della camera: Φ800*H800mm

   Tipo di camera: cilindrica, verticale, a una porta

   SISTEMA RACK ROTARY: guida planetaria/centrale

   MATERIALE DI DEPOSIZIONE: oro, alluminio, argento, rame, cromo, acciaio inossidabile, nichel, titanio

   FONTE DI DEPOSIZIONE: catodi di sputtering planari,

   Catodi ad arco convenzionali opzionali (secondo le esigenze del processo di rivestimento)

   Controllo dei gas reattivi: MFC, 2/4 modi

   CONTROL PLC ((Controllore di logica programmabile) + IPC

   Sistema di pompa:
   SV300B 1 set (Leybold) 300 m3/h

   Pompa per radici 1 set, 490 m3/h

   Pompa di tenuta 1 set, 60m3/h

   Pompa molecolare turbo: 1 set, 3500L/S

   FONDO di alimentazione: alimentazione di bias: 1*24 kW

   Potenza di sputtering CC: 12KW

   Fonte lineare di ioni: 5KW

   SISTEMA DI SICUREZZA:numerosi blocchi di sicurezza per proteggere operatori e attrezzature

   RICERCA DEL RIFRIDIMENTO: Acqua di raffreddamento

   RISCALDAMENTO: riscaldatori, 9 kW

   Potenza elettrica:
   480V/3 fasi/60HZ (conforme agli Stati Uniti)

   460V/3 fasi/50HZ (conforme all'Asia)

   380V/3 fasi/50HZ (conforme all'UE-CE)

   L'impronta di piedi: L3200*W2600*H2000mm

   Peso totale: 4,0 T

   TEMPO DI CICLO: 30-40 minuti (a seconda del materiale del substrato, della geometria del substrato e delle condizioni ambientali)

   Potenza massima: 50 kW

   Consumo energetico medio (APROSSIMO): 20 kW

   

Insite

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