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magnetron che farfuglia la macchina di rivestimento

Macchine per il rivestimento con sputtering di tantallo

Name: Macchine per il rivestimento con sputtering di tantallo
Brand: SHANGHAI ROYAL TECHNOLOGY INC.
SKU: RTSP
Availability: InStock

Marchio:	ROYAL
Numero di modello:	RTSP
MOQ:	1 set
Capacità di approvvigionamento:	10 set al mese

Informazioni dettagliate

Descrizione del prodotto

Informazioni dettagliate

Luogo di origine:

La Cina

Certificazione:

Tecnologia:

Arco di rivestimento ionico + deposizione di sputtering PVD

Obiettivi:

TiAl, Ta, Ni, Cr, Ti, Au, Ag, SS, Cu, Zr, Al ecc.

Proprietà:

Alto rendimento, elevata uniformità, elevata utilizzazione obiettivo

Applicazione:

Deposito di film a più strati

Vantaggi:

Processo operativo rispettoso dell'ambiente

Localizzazione della fabbrica:

Città di Shanghai, Cina

Servizio mondiale:

La Polonia - Europa; L'Iran Asia ad ovest & Medio Oriente, Turchia, India, Messico Sudamerica

Servizio formazione:

Lavori l'operazione a macchina, la manutenzione, le ricette di processo di rivestimento, programma

Garanzia:

Garanzia limitata 1 anno gratis, intera vita per la macchina

OEM e ODM:

disponibili, sosteniamo la progettazione ed il montaggio su misura

Imballaggi particolari:

Esporti la norma, per essere imballato nei nuovi casi/cartoni, in adatti ad oceano/aria interurbana

Evidenziare:

vacuum coating plant

macchina di rivestimento di alto vuoto

Descrizione del prodotto

Tantalum PVD Sputtering Coating Machine, Tantalum films deposited by DC Magnetron Sputtering, PVD Tantalum Plating

Il tantallo è più ampiamente utilizzato nell'industria elettronica e come rivestimento protettivo in molte industrie a causa della sua buona resistenza all'erosione.

Le pellicole di tantalio sputter sono ampiamente utilizzate nella produzione di
1. industria microelettronica in quanto i film possono essere sputterati in modo reattivo e quindi la resistività e il coefficiente di temperatura della resistenza possono essere controllati;

2- Strumenti medici come impianti per la sua proprietà di biocompatibilità;

3. rivestimenti su parti resistenti alla corrosione, quali pozzi termici, corpi di valvole e elementi di fissaggio;

Il tantalo sputterato può essere utilizzato anche come barriera resistente alla corrosione se il rivestimento è continuo, difettoso e adesivo al substrato..

RTAS1000 Vantaggi tecnici

1. Plug-in Sistema di progettazione integrato per un'installazione rapida

2. Siemens PLC,CPU; con hardware per il controllo e il funzionamento di PC industriali

3Disponibile per monitoraggio e diagnosi a distanza.
4. flessibile, pronto per l'aggiornamento

5. catodi multipli per velocità di deposizione rapida

Macchine per il rivestimento con sputtering di tantallo 0

Altri vantaggi della macchina:

Progettazione robusta, qualità stabile, ciclo veloce, tempo di ciclo veloce, velocità di deposizione elevata

Configurazioni principali
Modello	RTAS1000
Tecnologia	Sputtering magnetron DC + rivestimento ad arco catodico
Materiale della camera	Acciaio inossidabile (S304)
Dimensione della camera	Φ1000*1000 mm (H)
Tipo di camera	Forma D, camera cilindrica
Sistema di rotazione del rack e del jig	Guida satellitare o sistema di guida centrale
FONDITORI di energia	Fornitura di corrente di sputtering a corrente continua: 2 ~ 4 set Bias Fornitura di corrente: 1 set Arco Fornitura di corrente: 11 set
Materiale di deposito	Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu ecc.
FONTE di deposito	Catodi di sputtering planare + catodi ad arco circolare Nota: è disponibile uno sputter DC cilindrico
Controllo	PLC ((controller logica programmabile) + touch screen (modelli di funzionamento manuale + automatico + semiautomatico)
Sistema di pompa	Pompa rotativa a ventole: SV300B - 1 set (Leybold)
	Pompa per radici: WAU1001 - 1 set (Leybold)
	Pompa di tenuta: D60C - 1 set (Leybold)
	Pompa molecolare a sospensione magnetica: MAG2200 - 2 sest (Leybold)
Controller di flusso di massa del gas	4 canali, Made in China, Seven Star (serie CS, ) modello digitale (Ar, N2, O2, C2H2)
VACUUM GAUGE	Modello: ZDF-X-LE, Made in China
Sistema di sicurezza	Numerosi blocchi di sicurezza per proteggere gli operatori e gli equipaggiatori
RISCALDO	Scaldaie: 20 kW. Temperatura massima: 450°C
RIFREDDIMENTO	Chiller industriale (acqua fredda)
Power Max.	100 kW (circa.)
Consumo medio di energia	45 KW (circa)
Peso lordo	T (circa)
Impronta di piedi	(LWH) 400040003600 MM
Potenza elettrica	AC 380V/3 fasi/50HZ / 5 linea

Catodi sputter cilindrici Catodi di sputazione piana

Macchine per il rivestimento con sputtering di tantallo 1

Si prega di contattarci per ulteriori specifiche, Royal Technology ha l'onore di fornire soluzioni complete di rivestimento.

Scaricare la brochure, cliccando qui:Sistema di deposizione da sputtering magnetronico.pdf
Applicazione del sistema di deposizione da sputtering magnetronico...

Tag:

Macchina di rivestimento di vuoto di PVD

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Attrezzatura per la deposizione ad arco catodico

Rivestimento per evaporazione termica

Innovativa macchina personalizzata in PVD

Metallizzatore a vuoto a rete da rotolamento a rotolamento

Sistema di rivestimento DLC PVD e PECVD

Macchina di rivestimento di laboratorio PVD

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Servizio del rivestimento di PVD

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