Marchio: | ROYAL |
Numero di modello: | RTAC1800 |
MOQ: | 18 insiemi |
prezzo: | negoziabile |
Condizioni di pagamento: | L/C, D/A, D/P, T/T |
Capacità di approvvigionamento: | 22 insiemi al mese |
Caratteristiche dell'apparecchiatura per il rivestimento PVD in ceramica:
1. camera a vuoto è verticale una porta aperta, 304 acciaio inossidabile fabbricato, camera a vuoto di diametro interno da φ1400mm-Φ2000mm;
2. sistema di vuoto con pompa a vele rotative, pompa a radici e pompe a diffusione di olio o pompa molecolare;
3Il sistema di rivestimento utilizza 1-2 magnetismo a frequenza intermedia per controllare la fonte di potenza di sputtering, ha 1-2 coppie di magnetismo non equilibrato per controllare l'obiettivo e ha 14-40 fonti di arco.
4- fonte di alimentazione ad impulso di alta efficienza;
5. il sistema di gasificazione utilizza il flussometro di massa gassosa prodotto a livello nazionale o importato, il contatore di controllo (dimostrazione) del flusso di gas;
6. il sistema di controllo elettrico di installazione circuito elettrico sovraccarico, taglia l'approvvigionamento idrico, muore il dispositivo di allarme acustico-ottico;
7Sistema di controllo (touch-screen + PLC), visualizzazione in tempo reale dei parametri dettagliati, controllo completamente automatico dell'intero processo di produzione e parametro tecnologico di memoria automatica.
Apparecchiature di rivestimento PVD - RTAC1618 Specificazioni
Modello | RTAC1618 | ||
Materiale | Acciaio inossidabile (S304) | ||
Dimensione della camera | Φ1600*1800 mm (H) | ||
Sistema di pompa | Pompa a vuoto a pistoni rotativi (meccanica) | ||
Pompa a vuoto rotante (in tenuta) | |||
Pompa a vuoto per radici | |||
Pompa di diffusione | |||
Tecnologia | Ionizzazione (fonti multi-arco) | ||
Obiettivi tipici | Cromo, titanio, zirconio, TiAl | ||
GAS | Misuratori di flusso di massa di gas (Ar, N2,) Argon, azoto | ||
Controllo | PLC ((Controllore di logica programmabile) | ||
Sistema di sicurezza | Numerosi blocchi di sicurezza per proteggere operatori e attrezzature | ||
RIFREDDIMENTO | Riciclare l'acqua di raffreddamento | ||
RISCALDO | Scaldaia, fino a 300°C | ||
Power Max. | 150 kW (circa.) | ||
Consumo medio di energia | 70 kW (circa.) |
Attrezzature per rivestimento PVD in ceramicautilizza la tecnologia di rivestimento ionico per evaporare metalli solidi come il titanio,Cromo da sorgente di arco catodico e condensare i metalli ionizzati sulla superficie del prodotto per generare nano film sottile in ambiente ad alto vuotoCon il gas reattivo come l'azoto per generare vari colori.
Altre dimensioni personalizzate sono disponibili in base alle dimensioni del prodotto specificate e alla domanda di capacità.
Modello | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
Dimensioni interne della camera | 1000x800 mm | 1000x1200 mm | 1200x1500 mm | 1400x1600 mm | 1600x1600 mm | ||||||
Tipo di alimentazione | Fornitore di alimentazione ad arco, alimentazione a filamento, alimentazione a bias d'impulso | ||||||||||
Struttura della camera a vuoto | Struttura verticale della porta anteriore, sistema di scarico dell'aria posteriore e camera di raffreddamento a due strati | ||||||||||
Materiale della camera a vuoto | Acciaio inossidabile 304/316L | ||||||||||
Il vuoto finale | 6.0x10-4Pa (camera di scarico, pulizia, asciugatura) | ||||||||||
Velocità di pompaggio a vuoto | da atmosfera a 8,0*10-3Pa ≤ 15 minuti | ||||||||||
Sistema di pompaggio a vuoto | Pompa di diffusione o pompa molecolare + Pompa radicale + Pompa meccanica + Pompa di tenuta (il modello specifico può essere selezionato in base alle esigenze del cliente) | ||||||||||
Fonte di arco | 6 unità o 8 unità | 8 unità o 10 unità | 10 unità o 12 unità | 14 unità o 16 unità | 16 unità o 18 unità | ||||||
Fornitore di alimentazione Bias | 20 kW/set | 20 kW/set | 30 kW/set | 40 kW/set | 50 kW/set | ||||||
Modello di guida | Rivoluzione e rotazione planetarie, regolazione della velocità a frequenza variabile (controllabile e regolabile) | ||||||||||
Sistema di riscaldamento | Controllabile e regolabile dalla temperatura ambiente a 450°C (controllo della temperatura PID) | ||||||||||
MFC | Sistema di controllo e visualizzazione del flusso di gas di processo a tre o quattro vie, sistema di gassamento automatico selettivo | ||||||||||
Sistema di raffreddamento | Modalità di raffreddamento per circolazione dell'acqua, torre di raffreddamento dell'acqua o raffreddatore d'acqua industriale o sistema di raffreddamento a fondo (forniti dai clienti) | ||||||||||
Modalità di controllo | Modalità di integrazione manuale/automatica, funzionamento a touch screen, controllo PLC o computer | ||||||||||
Potenza totale | 30 kW | 35 kW | 45 kW | 60 kW | 75 kW | ||||||
Alarme e protezione | Avviso di carenza d'acqua, sovra corrente e sovra tensione, circuito aperto e altre condizioni anormali di pompe, bersagli e così via ed eseguire le misure di protezione pertinenti e la funzione di blocco elettrico | ||||||||||
Area delle attrezzature | W2,5m*L3,5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4,5m*L6m | W5m*L7m | ||||||
Altri parametri tecnici | Pressione dell'acqua ≥ 0,2 MPa, temperatura dell'acqua ≤ 25°C, pressione dell'aria 0,5-0,8 MPa | ||||||||||
Commenti | La configurazione specifica delle attrezzature di rivestimento può essere progettata in base ai requisiti di processo dei prodotti di rivestimento |
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