D'oro, argento e rame Ceramica PVD Sputtering Deposition Machine,

Apparecchiature di deposizione per lo sputtering dell'oro, macchina di deposizione PVD per argento/oro, sistema di sputtering PVD con pellicola conduttiva 

Riassunto:Il processo DPC- Direct Plating Copper è una tecnologia di rivestimento avanzata applicata con LED / semiconduttori / industrie elettroniche.Deposito di pellicola conduttiva di Cooper sull'ossido di alluminio (Al2O3), i substrati di AlN con tecnologia di sputtering a vuoto PVD, rispetto alla produzione tradizionale

metodi: DBC LTCC HTCC, il costo di produzione molto inferiore è la sua caratteristica elevata.

Il team di tecnologia reale ha aiutato il nostro cliente a sviluppare il processo DPC con successo con la tecnologia di sputtering PVD.

Parole chiave:Parti di tenuta in ceramica, processo DPC, sistema di sputtering PVD in rame, chip ceramici a LED con rivestimento in Cooper, Al₂O₃, AlN circuiti ceramici, Al2O3 piastre su LED, semiconduttore

Applicazioni diDPC:

· HBLED

· Substrati per celle di concentratori solari

· Imballaggi per semiconduttori di potenza, compreso il controllo del motore per autoveicoli

· elettronica per la gestione dell'energia delle automobili ibride ed elettrica

· pacchetti per RF

· apparecchi a microonde

Performance della tecnologia DPC

Vari materiali di substrato: ceramica (Al3O2, AlN), vetro e Si

• Costo di produzione molto inferiore.
• Performance eccezionali di gestione termica e di trasferimento di calore
• Accurato allineamento e progettazione dei modelli
• Adesione di metallizzazione robusta

Caratteristiche:

• a. un'ampiezza di potenza superiore a 2 m2;
• Forte adesione con potente dispositivo di riscaldamento e pulizia della fonte di plasma;
• Progettazione compatta e facile accesso per lavori di aggiornamento e manutenzione.
• Piena automazione, PLC + touch screen, sistema di controllo a un solo tocco.
• Alta efficienza con minore consumo energetico, risparmio massimo del 50% dei costi di produzione.

Specifiche tecniche

• Prestazioni

1Pressione di vuoto finale: superiore a 9,0*10^-5Papà!

• Pressione di vuoto di base: 3,0*10^-2Papà!

3. Pompaggio giù Tempo: da atm a 1.0×10^-3Pa≤15 minuti (temperatura ambiente, camera secca, pulita e vuota)

4Fonte di deposizione: catodi di sputtering magnetron Gencoa, catodi ad arco diretto, fonte ionica

5- Modello di funzionamento: pieno automatico/semi-automatico/manuale

6. riscaldamento: da temperatura ambiente fino a 500°C,

9Fonte ionica per il processo PECVD e PA PVD.

• Struttura

La macchina per il rivestimento a vuoto contiene il sistema completato di cui sotto:

1Camera di vuoto.

1.1 Dimensione: diametro interno: 1200 mm

Altezza interna: 1500 mm

1.2 Materiale: camera a vuoto SUS304

SUS304

Struttura di rinforzo della camera: acciaio tenero SS41, con trattamento superficiale di finitura verniciato.

Chassis della camera SS41 in acciaio tenero con trattamento di finitura verniciata.

1.3 Scudo di camera: SUS304

1.4 Vista finestra: 2 sulla porta

1.5 Valvola di ventilazione della camera a vuoto (compreso il silenziatore)

1.6 Porta: materiale SUS304

2- Non lo so.GhingSistema di pompaggio a vuoto:

Pompa a vuoto a vela rotante + pompa di tenuta
 

3Sistema di pompaggio ad alto vuoto: Pompa molecolare a sospensione magnetica - 2 serie

4Sistema elettrico di controllo e di funzionamento - PLC + sistema di funzionamento touch screen:

Fornitori:

PLC: Mitsubishi + touch screen (Made in China)

Componenti elettronici: Schneider, OMRON.

Sistema di protezione della sicurezza:Numerosi blocchi di sicurezza per proteggere operatori e attrezzature (acqua, corrente di gas, temperatura ecc.)

Sistema dei processi di rivestimentoProcesso di automazione e controllo.

4.1 Circuito principale: interruttore senza fusibile, interruttore elettromagnetico, C/T in serie

4.2 Fornitore di alimentazione: potenza di sputtering CC/MF + potenza di arco CC + alimentazione di bias

4.3 Sistema di controllo della deposizione

4.4 Sistema operativo: touch screen + PLC, controllo delle ricette e registrazione dei dati, spegnimento automatico, evacuazione automatica, rivestimento automatico

4.5 Sistema di misurazione

Pressione di vuoto: misuratore di vuoto: Pirani + misuratore di Penning + misuratore di vuoto di gamma completa -- marchio Europa

Dispositivo di misurazione della temperatura: termocoppia
MFC: regolatore di flusso di massa (quattro modalità ),

4.6 Sistema di allarme: pressione dell'aria compressa, flusso di acqua di raffreddamento, malfunzionamento

4.7 Indicatore del carico di potenza: Indicatore di tensione e indicatore di corrente di carico

5Sistema di deposizione

5.1 Sorgente di deposizione: catodi di sputtering + sorgenti di arco + sorgente ionica

5.2 Materiale di deposizione: rame, alluminio, cromo, argento, oro, SS, titanio, ecc.
 

6.Sottosistema

6.1 Sistema di controllo della valvola ad aria compressa

6.2 Sistema d'acqua di raffreddamento: tubo di scarico dell'acqua e sistema di valvole di interruttore

7. Ambiente di lavoro

Aria compressa: 5-8 kg/cm2

Acqua di raffreddamento: Temperatura dell'acqua: 20-25°C, 200 litri/minuto,
Pressione d'ingresso dell'acqua: 2~3 kg/cm2,

Potenza: 3 fasi 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, consumo medio di potenza: 60KW

Area di installazione: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Sfogo: ventilazione per pompe meccaniche

Si prega di contattarci per ulteriori specifiche, Royal Technology ha l'onore di fornire soluzioni complete di rivestimento.