ITO Film Coating Machine, tipo magnetron del bagno del film di ITO farfugliante dispositivo a induzione/vetro ITO Deposition Machine
Applicazioni standard di ITO Film Coating Machine: ANIMALE DOMESTICO, vetro, generare gli strati del rivestimento di ITO.
Tempo sviluppato macchina: 2012, Cina.
Applicazione: Film dell'AR, film di ITO.
Pezzi da lavorare:
Dimensione: 300mm*100mm
Spessore dell'ANIMALE DOMESTICO: 0.175mm+/-0.05mm
*Thickness di ITO Film: 185nm+/-5nm
Resistenza di strato: 6~8ohm/sq
Configurazioni tecniche di ITO Film Coating Machine:
1) CC che farfuglia le fonti: Cu, Al, ITO
2) MF che farfuglia le fonti
3) Gruppo molecolare della pompa di Turbo + della pompa della protezione
4) Campo magnetico ad alta intensità per migliorare qualità del film di ITO, grado di utilizzazione >30% dell'obiettivo
5) Cu, Al, grado di utilizzazione degli obiettivi di si > 35%
6) Tasso di deposito: 30nm m/min ~ 40nm m/min
7) Farfugliare area di uniformità: 350mm
Contattici prego per più specifiche, la tecnologia reale è onorato per fornirgli le soluzioni ricoprenti totali.