Tantalio PVD che farfuglia la macchina di rivestimento, film del tantalio depositati dal magnetron che farfuglia, placcatura di CC del tantalio di PVD
Il tantalio è più ampiamente usato nell'industria elettronica e come rivestimento protettivo in molte industrie a causa della sua buona resistenza ad erosione.
I film farfugliati del tantalio sono ampiamente usati in
1. l'industria della microelettronica mentre i film possono essere farfugliati reattivo e così il coefficiente di temperatura e di resistività della resistenza possono essere controllati;
2. Strumenti medici come gli impianti del corpo per la sua altamente proprietà di biocompatability;
3. rivestimenti sulle parti resistenti alla corrosione, quali i thermowells, i corpi di valvola ed i fermi;
Il tantalio farfugliato può dovere anche essere usato come efficace barriera di resistenza della corrosione se il rivestimento è continuo, defectected ed è aderente al substrato è inteso proteggere.
Vantaggi tecnici RTAS1000
1. Sistema di progettazione integrato alimentabile per installazione rapida
2. SpA di Siemens, CPU; con l'hardware industriale di operazione & di controllo del PC
3. Disponibile per monitoraggio e la diagnosi a distanza.
4. flessibile, aspetti per migliorare
5. Catodi multipli per velocità veloce di deposito
Più benefici dalla macchina:
Progettazione robusta, qualità stabile, ciclo veloce, tempo di ciclo veloce, alta velocità di deposito
Configurazioni principali | |
MODELLO | RTAS1000 |
TECNOLOGIA | Magnetron di CC che farfuglia + placcatura catodica dell'arco |
MATERIALE DELLA CAMERA | Acciaio inossidabile (S304) |
DIMENSIONE DELLA CAMERA | Φ1000*1000mm (H) |
TIPO DELLA CAMERA | Forma di D, camera cilindrica |
SCAFFALE DI ROTAZIONE & SISTEMA DELLA MASCHERA | Azionamento satellite o sistema di azionamento centrale |
ALIMENTAZIONI ELETTRICHE | CC che farfuglia l'alimentazione elettrica: 2~4 insiemi influenzano l'alimentazione elettrica: 1 alimentazione elettrica stabilita dell'arco: 11 insieme |
MATERIALE DI DEPOSITO | Ti/Cr/TiAl, tum, Au, AG, Cu ecc. |
FONTE DI DEPOSITO |
Catodi planari farfugliare + catodi circolari dell'arco Nota: la CC cylinderial farfuglia è disponibile |
CONTROLLO | SpA (controllore logico programmabile) + touch screen (modelli di operazione semi-automatici di manual+ auto+) |
SISTEMA DI POMPAGGIO | Vane Pump rotatoria: SV300B - 1 insieme (Leybold) |
Le radici pompano: WAU1001 - 1 insieme (Leybold) | |
Tenuta della pompa: D60C - 1 insieme (Leybold) | |
Pompa molecolare della sospensione magnetica: MAG2200 - 2 più sest (Leybold) | |
INTOSSICHI IL REGOLATORE DI PORTATA IN PESO | 4 canali, fatti in Cina, un modello digitale di sette stelle (serie del CS,) (AR, N2, O2, C2H2) |
VACUOMETRO | Modello: ZDF-X-LE, fatto in Cina |
SISTEMA DI SICUREZZA | Numerosi interruttori di sicurezza per proteggere gli operatori e i equipmen |
RISCALDAMENTO | Radiatori: 20KW. Impiegati massimi.: 450℃ |
RAFFREDDAMENTO | Refrigeratore industriale (acqua fredda) |
MASSIMO DI POTERE. | 100KW (approssimativamente) |
CONSUMO DI ENERGIA MEDIO | 45 chilowatt (approssimativamente) |
PESO LORDO | T (approssimativamente) |
STAMPA DEL PIEDE | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MILLIMETRO |
POTERE ELETTRICO | Linea phases/50HZ/5 di CA 380V/3 |
Catodi cilindrici farfugliare Catodi planari farfugliare
Contattici prego per più specifiche, la tecnologia reale è onorato per fornirgli le soluzioni ricoprenti totali.
Scarichi l'opuscolo, prego clicchi qui: Magnetron che farfuglia deposito System.pdf
Magnetron che farfuglia applicatio del sistema di deposito…