ITO Macchina di rivestimento a rete a vuoto per lo sputtering a rotoli / Macchina di sputtering a pellicola PET PVD
Siamo lieti di proporre il nostro MultiWeb-Series Roll to Roll Vacuum Sputtering Web Coater per soddisfare i vostri requisiti di deposizione multi-livello.
Il MultiWeb Coater offre le seguenti caratteristiche chiave:
A. Una camera suddivisa in zone a più pressioni per accogliere varie fonti di deposizione.
B. capacità di deposizione simultanea da più sorgenti in un solo passaggio di rete, per rivestimento a più strati.
C. La direzione di avvolgimento della rete reversibile consente la deposizione di strati illimitati senza rompere il vuoto.
D. Meccanismi di manipolazione della rete di precisione con guida di bordo per consentire più passaggi senza perdita di allineamento (facoltativo)
E. Sistema di azionamento inverso della rete per il controllo accurato di più velocità della rete.
F. sistemi di monitoraggio dell'espessore ottico e/o della resistenza in linea, per controllare con precisione lo spessore e l'uniformità della deposizione (facoltativo)
G. La camera è costruita in SUS304L inossidabile con componenti a bassa emissione di gas per assicurare un vuoto più profondo.
H. pompaggio a vuoto mediante una combinazione di pompa turbo-molecolare e criogenica a bassa temperatura, per fornire un vuoto pulito senza umidità o contaminazione da olio.
ITO Macchine di rivestimento a rete a vuoto di sputtering a rotolamento
1Materiale di substrato: PET, PEN, PES, PI, PC, PA,...
2Spessore del substrato: 15~300 μm
3Metodi di deposizione: AC Reattivo per SiO2 ((Dielettrico); DC pulsato per ITO (Metallo e conduttore)
4Conduttore di ossido TCO: ITO, AZO, IZO...
5Conduttore metallico: Al, Cu, Mo, Ag...
6. film ottico: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2...
7Semiconduttore: ZnO, InGaZnO...
8Isolatore: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx...
9Uniformità: ± 5% su tutta la rete
Descrizione della macchina per il rivestimento a rete a vuoto da rotolamento a rotolamento
| Specificativi generali | |||||||
| Corpo della camera a vuoto: zone a pressione multipla a camera singola | |||||||
| Carrozze mobili: Carrozze web | |||||||
| Zona di deposizione: 2 X zona di sputtering (facoltativo: 3 zona di sputtering) | |||||||
| Fonte di sputtering: 2 X Fonte di sputter a doppio catodo (opzionale: 3 Fonte di sputter a doppio catodo) | |||||||
| Pre-trattatore di substrato: sorgente ionica lineare | |||||||
| Larghezza della rete: 1300 mm | |||||||
| Diametro di avvolgimento: Φ600 mm Max | |||||||
| Direzione di avvolgimento: bi-direzionale | |||||||
| Spessore del substrato: 15 ~ 300 μm | |||||||
| Velocità della linea Web:0.5~10M/min | |||||||
| Tensione della rete: 5,0PLI Max 0,5PLI Min | |||||||
| Allineamento della rete: ±3 mm (uno passaggio) | |||||||
| Pompa ad alto vuoto: pompa turbo | |||||||
| Pompa a vuoto grezzo: combinazione di pompa a secco e soffiatore | |||||||
| Pompa di umidità: policoldo criogeno | |||||||
| Controllo dello spessore della deposizione: monitoraggio (facoltativo) | |||||||
| a: Trasmissione ottica; b: Resistenza alla corrente di Eddy | |||||||
| Funzionamento del sistema: funzionamento del sistema informatico basato su PLC |
Si prega di contattarci per ulteriori specifiche, Royal Technology ha l'onore di fornire soluzioni complete di rivestimento.
