Farfugliare del magnetron è ampiamente usato depositare i metalli refrattari come tantalio, il titanio, il tungsteno, il niobio, che richiederebbero le temperature elevate stesse del deposito ed i metalli preziosi: L'oro e l'argento e quale inoltre è usato per il deposito dei metalli più con una bassa temperatura di fusione dei punti come rame, alluminio, nichel, cromo ecc.
Il tantalio più è utilizzato nell'industria elettronica come rivestimento protettivo a causa della sua buona resistenza ad erosione.
Applicazioni del film sottile del tantalio Sputtered:
1. l'industria della microelettronica mentre i film possono essere farfugliati reattivo e così il coefficiente di temperatura e di resistività della resistenza possono essere controllati;
Vantaggi tecnici
Il tantalio standardizzato della tecnologia reale che farfuglia il sistema di deposito: RTSP1000
Configurazioni principali | |
MODELLO | RTSP1000 |
TECNOLOGIA |
Farfugliare pulsato del magnetron di CC Placcatura catodica dell'arco (per opzione, determinata tramite il processo di rivestimento) |
MATERIALE DELLA CAMERA | Acciaio inossidabile (S304) |
DIMENSIONE DELLA CAMERA | Φ1000*1600mm (H) |
TIPO DELLA CAMERA | Forma di D, camera cilindrica |
SCAFFALE DI ROTAZIONE & SISTEMA DELLA MASCHERA | Azionamento satellite o sistema di azionamento centrale |
ALIMENTAZIONI ELETTRICHE |
CC che farfuglia l'alimentazione elettrica: 2~4 insiemi Ion Source: 1 insieme |
MATERIALE DI DEPOSITO | Tum, Ti/Cr/TiAl, Au, AG, Cu ecc. |
FONTE DI DEPOSITO | Catodi planari farfugliare + catodi circolari dell'arco |
CONTROLLO | SpA (controllore logico programmabile) + IPC (modelli di operazione semi-automatici di manual+ auto+) |
SISTEMA DI POMPAGGIO | Vane Pump rotatoria: SV300B – 1 insieme (Leybold) |
Le radici pompano: WAU1001 – 1 insieme (Leybold) | |
Tenuta della pompa: D60C – 1 insieme (Leybold) | |
Pompa molecolare della sospensione magnetica: MAG2200 – 2 più sest (Leybold) |
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INTOSSICHI IL REGOLATORE DI PORTATA IN PESO | 2 canali: L'AR e N2 |
VACUOMETRO | Inficon o Leybold |
SISTEMA DI SICUREZZA | Numerosi interruttori di sicurezza per proteggere gli operatori e i equipmen |
RISCALDAMENTO | Radiatori: 20KW. Impiegati massimi.: 450℃ |
RAFFREDDAMENTO | Refrigeratore industriale (acqua fredda) |
MASSIMO DI POTERE. | 100KW (approssimativamente) |
CONSUMO DI ENERGIA MEDIO | 45 chilowatt (approssimativamente) |
PESO LORDO | T (approssimativamente) |
STAMPA DEL PIEDE | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MILLIMETRO |
CORRENTE ELETTRICA |
Linea phases/50HZ/5 di CA 380V/3 |
Insite:
Tempo sviluppato: 2018
Posizione: La Cina
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