Macchina di rivestimento per sputtering magnetron DC e MF, soluzioni di rivestimento PVD nero profondo
Magnetron Sputtering Coating
Rivestimento al plasma
Lo sputtering del magnetron è un processo di rivestimento al plasma mediante il quale il materiale sputtering viene espulso a causa del bombardamento di ioni sulla superficie del bersaglio.La camera a vuoto della macchina di rivestimento PVD è riempita con un gas inerte, come l'argon.Applicando un'alta tensione, viene creata una scarica a bagliore, con conseguente accelerazione degli ioni sulla superficie del bersaglio e un rivestimento al plasma.Gli ioni di argon espelleranno i materiali di spruzzatura dalla superficie del bersaglio (spruzzatura), risultando in uno strato di rivestimento spruzzato sui prodotti di fronte al bersaglio. La tecnologia di sputtering Magnetron è caratterizzata da:
| MODELLO | RTAC1250-SPMF | ||||||
| TECNOLOGIA | MF Magnetron Sputtering + placcatura ionica | ||||||
| MATERIALE | Acciaio inossidabile (S304) | ||||||
| DIMENSIONE DELLA CAMERA | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| TIPO DI CAMERA | Cilindro, verticale, 1 anta | ||||||
| SISTEMA DI SPRUZZATURA | Design esclusivo per la deposizione di film nero sottile | ||||||
| MATERIALE DI DEPOSITO | Alluminio, Argento, Rame, Cromo, Acciaio Inox, Nichel |
||||||
| FONTE DI DEPOSITO | 2 set di bersagli a polverizzazione cilindrica MF + 8 sorgenti ad arco catodico orientato + sorgente ionica per opzionale | ||||||
| GAS | MFC- 4 vie, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| CONTROLLO | PLC (controllore logico programmabile) + | ||||||
| SISTEMA A POMPA | SV300B - 1 set (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 set (Leybold) | |||||||
| D60T- 1 set (Leybold) | |||||||
| Pompe turbomolecolari: 2* F-400/3500 | |||||||
| PRETRATTAMENTO | Alimentazione bias: 1*36 KW | ||||||
| SISTEMA DI SICUREZZA | Numerosi interblocchi di sicurezza a protezione degli operatori | ||||||
| RAFFREDDAMENTO | Acqua fredda | ||||||
| POTENZA ELETTRICA | 480 V/3 fasi/60 HZ (conforme agli USA) | ||||||
| 460 V/3 fasi/50 HZ (conforme all'Asia) | |||||||
| 380V/3 fasi/50HZ (conforme EU-CE) | |||||||
| ORMA | L3000*L3000*H2000mm | ||||||
| PESO TOTALE | 7,0 t | ||||||
| ORMA | (L*P*A) 5000*4000 *4000 MM | ||||||
| TEMPO DI CICLO | 30~40 minuti (a seconda del materiale del substrato, geometria del substrato e condizioni ambientali) |
||||||
| POTENZA MASSIMA.. | 155 KW | ||||||
| POTENZA MEDIA CONSUMI (CIRCA) |
75 KW |
Vi preghiamo di contattarci per ulteriori specifiche, Royal Technology è onorata di fornirvi soluzioni di rivestimento totali.
