Macchina di rivestimento a film sottile di rame, impianto di deposizione di polverizzazione a film sottile conduttivo Au, sistema di verniciatura a polverizzazione d'argento
RameMagnetron Sputtering Vacuum Coater
1) La controllabilità dello spessore del film e la ripetibilità del pozzo, possono essere un sistema affidabile di spessore pre-placcato dei film e sputtering su una superficie più ampia di film uniforme;
2) L'adesione del film e del supporto è molto buona.Parte dell'elevata energia degli atomi spruzzati per produrre diversi livelli di fenomeno di iniezione, strato di pseudo-diffusione formato sullo strato di substrato di atomi spruzzati e atomi di substrato fusi l'uno con l'altro;
3) Preparazione del materiale speciale del film, è possibile utilizzare materiali diversi e film ibridi sputtering, film composto, che possono anche essere spruzzati nel film d'oro imitazione TiN.
RameSpecifiche del rivestimento sottovuoto per spruzzatura Magnetron
| Magnetron Sputtering macchina di rivestimento | ||||||
| Prestazione | RTSP-700 | RTSP-900 | RTSP-1000 | RTSP-1250 | RTSP-1400 | RTSP-1600 |
| Dimensioni della camera di rivestimento | 700*H900mm | 900*H1100mm | 1000*H1200mm | 1250*H1350mm | 1400*H1600mm | 1600*H1800mm |
| Tipo di alimentazione | Alimentazione a filamento, alimentazione a polarizzazione di impulso, alimentazione a magnetron CC, alimentazione a magnetron a frequenza intermedia, alimentazione a magnetron a radiofrequenza, sorgente di ionizzazione lineare | |||||
| Struttura della camera a vuoto | Doppia porta verticale, struttura porta anteriore verticale, sistema di scarico aria posteriore | |||||
| Materiale della camera a vuoto | Cavità in acciaio inossidabile di alta qualità | |||||
| Limita il vuoto | 6,0*10-4Pa | |||||
| Tempo di svuotamento (a vuoto) | Pompa l'atmosfera a 8,0*10-3>Pa ≤15 minuti | |||||
| Sistema di acquisizione del vuoto | Pompa a diffusione o pompa molecolare + Pompa Roots + Pompa meccanica + Pompa rotativa a palette (il modello specifico può essere configurato in base alle esigenze del cliente) | |||||
| Modalità di rivestimento | Rivestimento sputtering Magnetron | |||||
| Tipo di pellicola | Film metallico, film reattivo, film composto, film multistrato e film semiconduttore | |||||
| Tipo di bersaglio Magnetron | Target magnetron rettangolare, target magnetron cilindrico e target magnetron twin | |||||
| Potenza di alimentazione del magnetron e numero di bersagli del magnetron | Selezionare in base al diverso processo di rivestimento e alle esigenze del cliente | |||||
| Alimentazione di polarizzazione | 10KW/1 unità | 20KW/1 unità | 20KW/1 unità | 30KW/1 unità | 40KW/1 unità | 50 KW/1 unità |
| Modalità di rotazione della piattaforma girevole del pezzo | Giro planetario e autorotazione, regolazione della velocità a frequenza variabile (controllabile e regolabile) | |||||
| Gas di processo | Sistema di controllo e visualizzazione del flusso del gas di processo a 3 o 4 percorsi, sistema di gassificazione automatica selettiva | |||||
| Modalità di raffreddamento | Modalità di raffreddamento a circolazione d'acqua, torre dell'acqua di raffreddamento o refrigeratore d'acqua industriale o sistema di raffreddamento profondo.(Fornito dai clienti) | |||||
| Modalità di controllo | Modalità di integrazione manuale/automatica, funzionamento touch screen, controllo PLC o computer | |||||
| Potere totale | 30KW | 35KW | 40KW | 50 KW | 65KW | 80KW |
| Allarme e protezione | Segnalare mancanza d'acqua, sovracorrente e sovratensione, circuito aperto e altre condizioni anomale di pompe, obiettivi e così via ed eseguire le misure di protezione pertinenti e la funzione di interblocco elettrico | |||||
| Area attrezzature | L2m*L3m | L2.5m*L3.5m | L3m*L4m | L4m*L5m | L4,5 m*L6 m | L5m*L7m |
| Altri parametri tecnici | Pressione dell'acqua ≥0,2 MPa, temperatura dell'acqua ≤25°C, pressione dell'aria: 0,5-0,8 MPa | |||||
| Osservazioni | La configurazione specifica delle apparecchiature di rivestimento può essere progettata in base ai requisiti di processo dei prodotti di rivestimento | |||||
Vi preghiamo di contattarci per ulteriori specifiche, Royal Technology è onorata di fornirvi soluzioni di rivestimento totali.
