Macchina di rivestimento di vuoto di PVD/magnetron che farfuglia la macchina di rivestimento, macchina di rivestimento metallurgica del pvd
Questa macchina è adatta al sistema di rivestimento di vuoto di produzione industriale. Fornisce una grande fonte di evaporazione dello ione dell'arco della pianura di dimensione e può rendimento elevato del deposite duro a film metallico dalla tecnologia di evaporazione dell'arco, quali latta, TiCN, AlTiN e tutti i tipi di altro film speciale secondo i requisiti del cliente.
Il rivestimento di DLC (carbonio tipo diamante) è la combinazione di diamante (SP3) e di grafite (SP2). Le proprietà fisiche e chimiche di DLC sono intermedie a quella del diamante e della grafite
Specifiche
| MODELLO | RTAS1000 | |||||||
| TECNOLOGIA | placcatura + magnetron dell'arco che farfuglia + fonte di ione | |||||||
| MATERIALE DELLA CAMERA | Acciaio inossidabile (S304) | |||||||
| DIMENSIONE DELLA CAMERA | Φ1000*1000mm (H) | |||||||
| TIPO DELLA CAMERA | Camera dell'ottaedro regolare, 2 porte | |||||||
| SCAFFALE DI ROTAZIONE & SISTEMA DELLA MASCHERA | 6 satellite (di 8), peso massimo: 400kgs | |||||||
| ALIMENTAZIONI ELETTRICHE | Qty. di farfugliare: Chilowatt 2*24 di sbieco dell'alimentazione elettrica: l'alimentazione elettrica di 1*24W EA per di fonte di ione di opzione alimentazione 2 insiemi, l'alimentazione elettrica degli EA per opzione | |||||||
| MATERIALE DI DEPOSITO | Ti, Zr, TiAl, Cu, Au | |||||||
| FONTE DI DEPOSITO |
2 paia (4 pezzi) che farfugliano i catodi + 6 archi che ricoprono area: Dia800mm*H550mm; |
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| CONTROLLO | SpA (controllore logico programmabile) + touch screen (modelli di operazione semi-automatici di manual+ auto+) | |||||||
| SISTEMA DI POMPAGGIO | Pompa a palette rotatoria: SV300B - 1 insieme (Leybold) | |||||||
| Pompa delle radici: WAU1001 - 1 insieme (Leybold) | ||||||||
| Pompa della tenuta: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
| Pompa molecolare della sospensione del rotore di Magnetric: MAG2200 - 2 insiemi (Leybold) | ||||||||
| REGOLATORE DI PORTATA IN PESO DEL GAS | 3 canali, fatti in America (marca di MKS) | |||||||
| VACUOMETRO | Modello: ZDF-X-LE, fatto in Cina | |||||||
| Fonte di ione lineare | 2 pezzi che pretrattano, pulizia del plasma + hanno assistito il deposito | |||||||
| SISTEMA DI SICUREZZA | Numerosi interruttori di sicurezza per proteggere gli operatori ed attrezzature | |||||||
| RISCALDAMENTO | Radiatori: 20KW. Impiegati massimi.: 400℃ | |||||||
| RAFFREDDAMENTO | Refrigeratore industriale (acqua fredda) | |||||||
| MASSIMO DI POTERE. | 100KW (approssimativamente) | |||||||
| CONSUMO DI ENERGIA MEDIO | 45 chilowatt (approssimativamente) | |||||||
| PESO LORDO | T (approssimativamente) | |||||||
| STAMPA DEL PIEDE | (L*W*H) 4000*4000 *4000 MILLIMETRO | |||||||
| POTERE ELETTRICO | CA 380V/3 phases/50HZ | |||||||
