Descrizione:
Farfugliare del magnetron è un'altra forma di tecnologia del rivestimento di PVD.
Rivestimento del plasma
Farfugliare del magnetron è un processo di rivestimento del plasma con cui farfugliare il materiale è espulso dovuto il bombardamento degli ioni alla superficie dell'obiettivo. La camera di vuoto della macchina di rivestimento di PVD è riempita di gas inerte, quale l'argon. Applicando un'alta tensione, uno scarico di incandescenza è creato, con conseguente accelerazione degli ioni alla superficie dell'obiettivo e ad un rivestimento del plasma. Gli argon-ioni espelleranno farfugliare i materiali dalla superficie dell'obiettivo (farfugliare), con conseguente strato ricoprente farfugliato sui prodotti davanti all'obiettivo.
Farfugliare reattivo
Spesso un gas supplementare quali azoto o acetilene è usato, che reagiranno con il materiale espulso (farfugliare reattivo). Una vasta gamma di rivestimenti farfugliati è realizzabili con questa tecnica del rivestimento di PVD. Il magnetron che farfuglia la tecnologia è molto vantaggioso per rivestimento decretive (nitruri per esempio del Ti, del Cr, dello Zr e del carbonio), a causa della sua natura regolare. Lo stesso vantaggio rende farfugliare del magnetron ampiamente usato per rivestimento tribologico nei mercati automobilistici (combinazioni andvarious del Cr, per esempio di CrN 2N con il rivestimento di DLC - diamante come il rivestimento del carbonio).
Campi magnetici
Farfugliare del magnetron è in qualche modo differente dalla tecnologia generale farfugliare. La differenza è che il magnetron che farfuglia la tecnologia usa i campi magnetici per tenere il plasma davanti all'obiettivo, intensificante il bombardamento degli ioni. Un plasma altamente denso è il risultato di questa tecnologia del rivestimento di PVD.
Il magnetron che farfuglia la tecnologia è caratterizzato vicino:
Massimo che farfuglia potere | |
Obiettivo raffreddato indiretto | > 20 watt/cm2 (CC) |
> 7 watt/cm2 (rf) | |
Tensione di scarico | 100 - 1500 volt |
Corrente di dispersione | > 0,05 amp/cm2 |
Pressione di esercizio | PA 0,05 - 5 |
Utilizzazione dell'obiettivo | > 35% |
Obiettivo | |
Forma | Planare rettangolare |
Spessore | 6mm~16mm |
Larghezza | 125mm |
Installazione | Interno/esterno |