Magnetron dell'oro dell'Au che farfuglia la macchina di rivestimento sulle lastre di silicio, lastra di vetro, strati ceramici
Magnetron dell'oro dell'Au che farfuglia sulle lastre di silicio
Riassunto:
L'oro che farfuglia le caratteristiche di strato:
1. Lo strato obbligatorio è essenziale per migliorare il substrato e l'adesione a film metallico. La tecnologia reale ha sviluppato una gamma di ricette ricoprenti maturate basate sulle applicazioni differenti, sostiene i nostri clienti con consiglio professionale.
2. La rugosità (RMS - media dei quadrati della radice) < 40="">
4. Oro che farfuglia purezza di superficie di strato: una superficie pulita è richiesta per le applicazioni che impiegano le modifiche di superficie dell'oro. Secondo il PVD elabori utilizzato, livellato del vuoto nel sistema, la purezza originale della fonte dell'oro (oltre 99,99% generalmente)
Parole chiavi: Deposito del film sottile della nano-struttura dell'oro dell'Au, magnetron che farfuglia, oro che farfuglia, sistema del film sottile dell'oro di PVD di metallizzazione sotto vuoto dell'oro
Applicazioni:
Il laboratorio delle università, dipartimento di R & S dei materiali del metallo fabbrica, centri di servizio del rivestimento di vuoto di PVD, principalmente utilizzati nell'industria elettronica come strato conduttivo e nelle scienze per gli esemplari ecc. del microscopio.
Caratteristiche tecniche:
| MODELLO | RTAC0808-SP |
| TECNOLOGIA | CC che farfuglia + fonte di ione (per opzione) |
| MATERIALE | Acciaio inossidabile (S304) |
| DIMENSIONE DELLA CAMERA | Φ800*H800mm |
| TIPO DELLA CAMERA | Cilindro, verticale, 1 porta |
| SISTEMA ROTATORIO DELLO SCAFFALE | Azionamento planetario/centrale |
| MATERIALE DI DEPOSITO | Oro, alluminio, argento, rame, Chrome, acciaio inossidabile, nichel, titanio |
| FONTE DI DEPOSITO | Catodi cilindrici/planari farfugliare: 2 o 3 per le fonti dell'arco di option.+ 3 |
| CONTROLLO DI GAS REATTIVO | MFC, 2/4 di modi |
| CONTROLLO | SpA (controllore logico programmabile) + Touch screen |
| SISTEMA DI POMPAGGIO | SV300B - 1 ³ /hr dell'insieme (Leybold) 300m |
| Pompa delle radici - 1 insieme, 150L/S | |
| Pompa della tenuta - 1 insieme, ³ /hr di 60m | |
| Pompa molecolare di Turbo: - 1 insieme, 3500L/S | |
| ALIMENTAZIONE ELETTRICA |
Alimentazione elettrica diagonale: Chilowatt 1*24 CC che farfuglia potere: 2*24KW |
| SISTEMA DI SICUREZZA | Numerosi interruttori di sicurezza per proteggere gli operatori ed attrezzatura |
| RAFFREDDAMENTO | Ricicli l'acqua di raffreddamento |
| RISCALDAMENTO | Radiatori, 9KW |
| POTERE ELETTRICO | 480V/3 phases/60HZ (U.S.A. compiacente) |
| 460V/3 phases/50HZ (Asia compiacente) | |
| 380V/3 phases/50HZ (EU-CE compiacente) | |
| ORMA | L3200*W2600*H2000mm |
| PESO TOTALE | 3,0 T |
| TEMPO DI CICLO | 30~40 minuti (secondo il materiale del substrato, la geometria del substrato e condizioni ambientali) |
| MASSIMO DI POTERE. | 50KW |
| CONSUMO DI ENERGIA MEDIO (APPROSSIMATIVAMENTE) | 20KW |
Wafer di doratura di PVD
Contattici prego per più specifiche, la tecnologia reale è onorato per fornirgli le soluzioni totali del rivestimento.
