Macchina di rivestimento induttiva di evaporazione
Riassunto:
Il riscaldamento di induzione è ampiamente usato nei campi differenti dovuto alte produttività ed universalità trattate, nella pulizia e nella possibilità di automazione completa. Come un metodo di tecnologia termica di evaporazione di PVD, il processo è amichevole per l'ambiente. Poiché l'induzione concede raggiungere la temperatura di 2000℃ e di più, questo metodo è molto adatto a produzione industriale ed a ricerche scientifiche.
La macchina di rivestimento di evaporazione di induzione RTEP0404 è progettata per il deposito d'evaporazione C60 sopra varia dei materiali. C60 fabbrica fornisce la R & S ed i risultati della prova per futuro. Un forte strumento che li assiste per ampliare le nuove industrie applicate.
Il primo insieme è prodotto per l'università di Shanghai. Il modello di produzione industriale è nell'ambito dell'elaborazione.
Applicazioni principali:
per depositare gli strati ed i rivestimenti del film sottile sopra
Tipo:
Orientamento verticale, modello di campana di vetro, apertura superiore
Caratteristiche del progetto:
Caratteristiche tecniche:
1. Ultima pressione di vuoto: migliori che il PA 9.0*10-5;
Pressione bassa di vuoto: PA 3.0*10-4
3. Tempo di attesa di pompaggio: da 1 bancomat al resoconto di 2.0×10-3 Pa≤25 (temperatura ambiente, asciutta, pulisce e svuota la camera)
4. Fonte di deposito: evaporatore di induzione, crogiolo
5. Modello di funzionamento: Manualmente
6. Riscaldamento: dalla temperatura ambiente fino al massimo 1000℃,
7. Potere di evaporazione: Alimentazione elettrica di radiofrequenza e di rf
8. Gas di lavoro: L'AR
La macchina di rivestimento di vuoto contiene il sistema di chiave completato elencato qui sotto:
1. Camera di vuoto
1,1 dimensione: Diametro interno 400mm
Altezza interna: 400mm
1,2 materiale: Camera di vuoto SUS304
La camera rinforza la struttura: Acciaio dolce SS41, con il trattamento di superficie di finitura dipinto.
Acciaio dolce del telaio SS41 della camera con il trattamento di superficie di finitura dipinto.
1,3 schermo di evaporazione: SUS304
1,4 finestra di vista: sulla porta della camera
1,5 valvola di scarico della camera di vuoto (silenziatore compreso)
2. Sistema di pompaggio di vuoto di sgrossatura:
Pompa a palette rotatoria dell'olio a due stadi
3. Sistema di pompaggio di alto vuoto: Pompa molecolare di Turbo
4. Unità elettrica di operazione del sistema HMI di esercizio e di controllo
4,1 circuito della conduttura: commutatore dell'interruttore del Nessuno-fusibile, commutatore elettromagnetico, tipo di C/T in serie
4,2 potere di evaporazione
4,3 sistema di controllo di evaporazione
4,4 sistema di esercizio: SpA
4,5 sistema di misurazione
Pressione di vuoto: Vacuometro: Pirani + rinchiudendo calibro
4,6 sistema di allarme: Pressione appiattita dell'aria, scorrimento dell'acqua di raffreddamento, Mis-operazione
4,7 indicatore del carico di potere: Indicatore di tensione ed indicatore della corrente del carico
5. sistema di deposito
5,1 fonte di deposito: evaporatore del termale di induzione
5,2 materiale di deposito: C60
6. Sottosistema
6,1 sistema di controllo appiattito della valvola dell'aria
6,2 sistema a acqua di raffreddamento: Sistema della valvola del tubo e del commutatore di scorrimento dell'acqua
6,3 gas di lavoro: L'AR (>99.99%)
7. Luogo di lavoro
Aria appiattita: 5~8kg/cm2
Acqua di raffreddamento: Acqua Nella temperatura: 20~25℃, 200 litri/min,
Acqua Nella pressione: 2~3 kg/cm2,
Potere: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, consumo di energia medio: 3kVA
Area dell'installazione: (L*W*H) 2000*200*2000mm
Scarico: Sfiato per le pompe meccaniche
Automaticamente tirando l'unità di Up-Down per aprirsi/vicino la camera
Sistema elettrico di recinzione:
Punte di sicurezza:
Protezione di Shileding da radiazione di rf
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