Attrezzatura di deposito del metallo di vuoto di rendimento elevato, metallizer di vuoto di CsI dal crogiolo termico
Parole chiavi: alta risoluzione, CsI: T1; film sottili di scintillatore; Imaging a raggi X; metodo di deposito di vuoto, post-deposito dello strato di carbonio
Il deposito del film sottile di CsI per i dispositivi di imaging a raggi X è una tecnica avanzata per evaporare CsI sullo schermo per dare un'alta qualità della rappresentazione. Con la sua prestazione di alta risoluzione, anche ampiamente usata nel controllo e nell'ispezione di sicurezza, negli oggetti di fisica delle alte energie, nella fisica delle aree ecc. di energia nucleare.
Il sistema termico del rivestimento di evaporazione RTEP0913 è stato messo a punto per il deposito del film di CsI su imaging a raggi X nell'ambiente di pressione di alto vuoto. Gli scintillatori del T1 di CsI che variano dal μm 2 al μm 14 di spessore. Il film dello strato di carbonio può essere considerato come post-deposito per migliorare le alte risoluzioni.
Prestazione e caratterizzazioni di deposito di vuoto dello ioduro del cesio (T1 di CsI)
Tipo:
l orientamento verticale, cilindro, 1 porta, apertura anteriore.
Caratteristiche del progetto:
l ultima pressione ultraelevata di vuoto: fino a PA 9.0*10-5;
l dispositivi riscaldare veloci per una buona adesione;
l alta selezione adeguata del pulsometro e sistema di pompaggio da evitare di azzardare materiale esposto nell'aria;
sistema ricoprente robusto, compatto e solido di l;
l stabilità d'altezza, lavorante 960 ore senza fermata.
l dispositivo del regolatore di spessore di film di Inficon per controllare lo spessore di film in linea.
la l esclusivamente crogioli progetta e selezione per il deposito di CsI.
l rivestimento dei substrati, dimensione massima: 500*500mm
la l ha avanzato i concetti di progetto dello scaffale può caricare i substrati di 2 pezzi per lotto, altamente migliora l'uscita di produzione.
Caratteristiche tecniche:
l prestazione
1. ultima pressione di vuoto: migliore del PA 9.0*10-5;
2. pressione di funzionamento di vuoto: 6,0*10-4 PA ~ PA9,0*10-4;
Pressione bassa di vuoto: PA 3,0*10-4
3. Tempo di attesa di pompaggio: 1 bancomat - ≤di PA 2,0×10-325 camere pulito e vuoto di minuti (temperatura ambiente, asciutto,)
4. Fonte di deposito: evaporazione termica del crogiolo del quarzo
5. Modello di funzionamento: In pieno automaticamente /Semi-Auto/ manualmente
6. Riscaldamento: dalla temperatura ambiente fino a 1000℃ massimo,
Substrato di vetro di TFT che riscalda tempo: da 0~250℃<40mins>
7. Tasso di deposito di CsI: 0~100nm/sec
8. CsI: Spessore di film T1: fino a 600μm
l struttura
La macchina di rivestimento di vuoto contiene completato il sistema chiave elencato qui sotto:
1. Camera di vuoto
1,1 dimensione: Diametro interno 900millimetri
Altezza interna: 1300 millimetri
1,2 materiale: Camera di vuoto SUS304
Porta e flange SUS304
La camera rinforza la struttura: Acciaio dolce SS41, con il trattamento di superficie di finitura dipinto.
Acciaio dolce del telaio SS41 della camera con il trattamento di superficie di finitura dipinto.
1,3 schermo di evaporazione: SUS304
1,4 finestra di vista: sulla porta della camera
1,5 valvola di scarico della camera di vuoto (silenziatore compreso)
1,6 porta: Materiale SUS304
2. Sistema di pompaggio di vuoto di sgrossatura:
Il pulsometro + le radici rotatori della pala dell'olio pompano (la Germania Pfeiffer)
3. sistema di pompaggio di alto vuoto:
Pompa molecolare della sospensione magnetica (Germania Pfeiffer)
4. Touch screen elettrico del sistema PLC+ di esercizio e di controllo
4,1 circuito principale: commutatore dell'interruttore del Nessuno-fusibile, commutatore elettromagnetico, tipo di C/T in serie
4,2 potere di evaporazione
4,3 sistema di controllo di evaporazione
4,4 sistema di esercizio: Touch screen + SpA, controllo di ricetta e registrazione di dati, arresto automatico, evacuazione automatica, rivestimento automatico
4,5 sistema di misurazione
Pressione di vuoto: Vacuometro: Pirani + rinchiudendo calibro + vacuometro della gamma completa
Strumento di misura di temperatura: Termocoppia
Regolatore di spessore di film: Marca di Inficon, SQC-310
4,6 sistema di allarme: Pressione dell'aria compressa, scorrimento dell'acqua di raffreddamento, Mis-operazione
4,7 indicatore del carico di potere: Indicatore di tensione ed indicatore corrente del carico
5. sistema di deposito
5,1 fonte di deposito: crogiolo del quarzo
5,2 materiale di deposito: CsI, carbonio
6. Sottosistema
6,1 l'aria ha compresso il sistema di controllo della valvola
6,2 sistema a acqua di raffreddamento: Sistema della valvola del tubo e del commutatore di scorrimento dell'acqua
Luogo di lavoro
Aria compressa: 5~8kg/cm2
Acqua di raffreddamento: Acqua Nella temperatura: 20~25℃, 200 litri/min,
Acqua Nella pressione: 2~3 kg/cm2,
Potere: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 65KVA, consumo di energia medio: 30KW
Area dell'installazione: (L*W*H) 3000*200*2300millimetri
Scarico: Sfiato per le pompe meccaniche
Contattici prego per più specifiche, la tecnologia reale è onorato per fornirgli le soluzioni ricoprenti totali.