Attrezzatura d'evaporazione del rivestimento di vuoto farfugliare e del termale del sistema di deposito del film sottile di PVD
Sistema di deposito del film sottile di PVD, farfugliare ed attrezzatura d'evaporazione del rivestimento di vuoto del termale
Il sistema del deposito del film sottile di PVD contiene le fonti del deposito di fonte di evaporazione del filamento di tungsteno ed il magnetron di CC farfuglia le fonti (rf che farfuglia i catodi è per opzione). Questa attrezzatura principalmente è utilizzata per depositare i film sottili sulle parti, sul vetro, sul metallo o sulle stagnole di plastica con i materiali di deposito come: Al del metallo, Cr, Cu, AG, Au, fonti puri di evaporazione del Ti ecc. generalmente per ottenere gli alti film sottili riflettenti sulle superfici dei prodotti o i film conduttivi, o per dare un'immagine metallica di prospettiva. Salvo che, le fonti farfugliare condensano una vasta gamma di materiali e di dielettrici a semiconduttore compreso gli ossidi conduttivi trasparenti, ecc.
Configurazioni di sistema di deposito del film sottile di PVD:
Prestazione
1. Ultima pressione di vuoto: migliori che i torr 5.0×10-6.
2. Pressione di funzionamento di vuoto: Torr 1.0×10-4.
3. Pompando tempo di attesa da 1 bancomat al resoconto di 1.0×10-4 Torr≤3 (temperatura ambiente, asciuga, pulisce e svuota la camera)
4. Metallizzazione del materiale (evaporazione): Al, Cr, Sn, Ti, ss, Cu… ecc.
5. Modello di funzionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ pieno manualmente
struttura di l
La macchina di rivestimento di vuoto contiene il sistema di chiave completato elencato qui sotto:
1. Camera di vuoto
1,1 dimensione: Diametro interno 1600mm
Altezza interna 1600mm
1,2 materiale: Camera di vuoto SUS304 (acciaio dolce SS41 per opzione)
Porta e flange SUS304 (acciaio dolce SS41 per opzione)
La camera rinforza la struttura: Acciaio dolce SS41, con il trattamento di superficie di finitura dipinto.
Acciaio dolce del telaio SS41 della camera con il trattamento di superficie di finitura dipinto.
1,3 schermo: SUS304
1,4 finestra di vista: sulla porta della camera
1,5 valvola di scarico della camera di vuoto, compreso il silenziatore
1,6 materiale della porta SUS304
2. Sistema di pompaggio di vuoto di Rouhging
3. Sistema di pompaggio di alto vuoto
4. Touch screen elettrico del sistema PLC+ di esercizio e di controllo
4,1 circuito della conduttura: commutatore dell'interruttore del Nessuno-fusibile, commutatore elettromagnetico, tipo di C/T in serie
4,2 potere di evaporazione: 35kVA
4,3 sistema di controllo di evaporazione
4,4 sistema di esercizio: Touch screen + SpA, controllo di ricetta e registrazione di dati, arresto automatico, evacuazione automatica, rivestimento automatico
4,5 sistema di misurazione di pressione di vuoto
Vacuometro: Pirani + rinchiudendo calibro
Calibro della termocoppia: 760 torr ~ torr 5*10-4
4,6 sistema di allarme: Pressione appiattita dell'aria, scorrimento dell'acqua di raffreddamento, Mis-operazione
4,7 indicatore del carico di potere: Indicatore di tensione ed indicatore della corrente del carico
5. Sistema di deposito
5,1 fonte di evaporazione del filamento di tungsteno
5,2 materiali termici di evaporazione: cavi, anelli, coni retinici ecc.
5,3 farfugli le fonti (DC/MF azionati a motore)
6. Sottosistema
6,1 sistema di controllo appiattito della valvola dell'aria
6,2 sistema della valvola del tubo e del commutatore di flusso dell'Sistema-acqua dell'acqua di raffreddamento
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