Oro dell'Au che farfuglia l'attrezzatura di deposito, Silve/macchina deposito dell'oro PVD, film conduttivo PVD che farfuglia sistema
Riassunto: Il rame di placcatura diretto di processo del DPC è una tecnologia avanzata del rivestimento applicata con il LED/semiconduttore/industrie elettroniche. L'un'applicazione tipica è ceramica irradiando il substrato. Il deposito conduttivo del film del bottaio sull'ossido di alluminio (Al2O3), substrati di AlN da PVD vacuum farfugliare la tecnologia, rispetto a fabbricazione tradizionale
metodi: DBC LTCC HTCC, costo di produzione molto più basso è la sua alta caratteristica.
Il gruppo reale della tecnologia ha assistito il nostro cliente ha sviluppato il processo del DPC con successo con PVD che farfuglia la tecnologia.
Parole chiavi: Parti di sigillatura ceramiche, processo del DPC, PVD di rame che farfuglia sistema, chip ceramici con la placcatura del bottaio, Al2 O3, circuiti ceramici di AlN, del LED piatti Al2O3 sul LED, semiconduttore
Applicazioni del DPC:
· HBLED
· Substrati per le cellule solari del concentratore
· Semiconduttore di potere che imballa compreso il controllo motorio automobilistico
· Elettronica della gestione di potere dell'automobile ibrida ed elettrica
· Pacchetti per la rf
· Dispositivi di a microonde
Prestazione di tecnologia del DPC
Vari materiali del substrato: Ceramico (Al3O2, AlN), vetro e si
Caratteristiche:
Caratteristiche tecniche
1. Ultima pressione di vuoto: migliori che il PA 9.0*10-5;
3. Tempo di attesa di pompaggio: dal bancomat al resoconto di 1.0×10-3 Pa≤15 (temperatura ambiente, asciutta, pulisce e svuota la camera)
4. Fonte di deposito: Magnetron di Gencoa che farfuglia i catodi, catodi diretti dell'arco, fonte di ione
5. Modello di funzionamento: Automaticamente /Semi-Auto/ pieno manualmente
6. Riscaldamento: dalla temperatura ambiente fino al massimo 500℃,
9. Fonte di ione per il processo di PA e di PECVD PVD.
La macchina di rivestimento di vuoto contiene il sistema di chiave completato elencato qui sotto:
1. Camera di vuoto
1,1 dimensione: Diametro interno: 1200mm
Altezza interna: 1500mm
1,2 materiale: Camera di vuoto SUS304
Porta e flange SUS304
La camera rinforza la struttura: Acciaio dolce SS41, con il trattamento di superficie di finitura dipinto.
Acciaio dolce del telaio SS41 della camera con il trattamento di superficie di finitura dipinto.
1,3 schermo della camera: SUS304
1,4 finestra di vista: 2 sulla porta
1,5 valvola di scarico della camera di vuoto (silenziatore compreso)
1,6 porta: Materiale SUS304
2. Sistema di pompaggio di vuoto di sgrossatura:
Pulsometro rotatorio della pala dell'olio + pompa della tenuta
3. Sistema di pompaggio di alto vuoto: Magneticamente pompa molecolare della sospensione - 2 insiemi
4. Sistema di esercizio elettrico del touch screen del sistema PLC+ di esercizio e di controllo:
Fornitori:
SpA: Mitsubishi + touch screen (fatto in Cina)
Componenti elettronici: SCHNEIDER, OMRON.
Sistema proteggente di sicurezza: Numerosi interruttori di sicurezza per proteggere gli operatori ed attrezzature (acqua, gas corrente, temperatura ecc.)
Sistema di processi di rivestimento: Automazione di processi & controllo.
4,1 circuito della conduttura: commutatore dell'interruttore del Nessuno-fusibile, commutatore elettromagnetico, tipo di C/T in serie
4,2 alimentazione elettrica: DC/MF che farfuglia potere dell'arco di CC + di potere + alimentazione elettrica diagonale
4,3 sistema di controllo di deposito
4,4 sistema di esercizio: Touch screen + SpA, controllo di ricetta e registrazione di dati, arresto automatico, evacuazione automatica, rivestimento automatico
4,5 sistema di misurazione
Pressione di vuoto: Vacuometro: Pirani + rinchiudendo calibro + vacuometro della gamma completa -- Marca di Europa
Strumento di misura di temperatura: Termocoppia
MFC: Regolatore di portata in peso (4 modi),
4,6 sistema di allarme: Pressione appiattita dell'aria, scorrimento dell'acqua di raffreddamento, Mis-operazione
4,7 indicatore del carico di potere: Indicatore di tensione ed indicatore della corrente del carico
5. sistema di deposito
5,1 fonte di deposito: Farfugliando le fonti dell'arco di cathodes+ + fonte di ione
5,2 materiale di deposito: Rame, alluminio, Chrome, argento, oro, ss, titanio ecc.
6. Sottosistema
6,1 sistema di controllo appiattito della valvola dell'aria
6,2 sistema a acqua di raffreddamento: Sistema della valvola del tubo e del commutatore di scorrimento dell'acqua
7. Luogo di lavoro
Aria appiattita: 5~8kg/cm2
Acqua di raffreddamento: Acqua Nella temperatura: 20~25℃, 200 litri/min,
Acqua Nella pressione: 2~3 kg/cm2,
Potere: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo di energia medio: 60KW
Area dell'installazione: (L*W*H) 4400*3200*2950mm
Scarico: Sfiato per le pompe meccaniche
Contattici prego per più specifiche, la tecnologia reale è onorato per fornirgli le soluzioni totali del rivestimento.